設備用途：本設備為臥式雙開門的高真空燒結爐，多溫區(qū)加熱，高溫區(qū)制備，低溫區(qū)氣相沉積收集?？蓪崿F(xiàn)多批次出料。適用于一氧化硅等材料的高溫制備及收集。

針對該類產(chǎn)品的大型化發(fā)展，有超大、超長規(guī)格爐型可供選擇，并配有安全可靠的進出料車系統(tǒng)。

該設備的結構設計合理，設計及制造符合相應的國家及行業(yè)標準和規(guī)范，能夠滿足用戶的特殊使用要求。設備配套產(chǎn)品和元器件能夠適應長期、穩(wěn)定、安全、可靠的生產(chǎn)需求。設備的節(jié)能效果好。使用、操作、維修方便簡捷，造型美觀，安全可靠，售后服務優(yōu)良。

設備的功能、配置及系統(tǒng)組成：

此設備由爐殼、加熱室、真空系統(tǒng)，充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等組成。

高真空高溫燒結爐爐體：

爐子結構形式為臥式前后開門結構，采用雙層夾壁水冷結構設計，內外層及法蘭采均采用304不銹鋼板，爐體內所有金屬結構件均采用不銹鋼；爐內所有金屬結構件及外圍水管均采用不銹鋼；前后爐門保溫層采用氣缸推拉開關門結構。