真空燒結(jié)爐中擴(kuò)散泵的運(yùn)行流程

1、擴(kuò)散泵的開啟

真空燒結(jié)爐中擴(kuò)散泵開啟按下述操作順序（供參考）。

① 擴(kuò)散泵泵體通水冷卻，然后用油封真空泵同時(shí)抽擴(kuò)散泵的泵體及真空室。

       ② 當(dāng)泵體內(nèi)的壓力小于lOOPa后，再接通擴(kuò)散泵加熱真空燒結(jié)爐中的電源，使泵體內(nèi)的油加熱。 因?yàn)橛驮诟邷叵乱?/span>氧化，即便使用高抗氧化性硅油，也不宜在高壓力氣氛中加熱。

擴(kuò)散泵的預(yù)熱時(shí)間因泵大小而異。一般口徑400mm以下的泵，加熱時(shí)間15?60min； 口徑大于400mm的泵，加熱時(shí)間80?240min。

       ③ 當(dāng)真空燒結(jié)爐中真空室內(nèi)壓力低于O.lPa以后，便可打開擴(kuò)散泵進(jìn)氣口主閥，擴(kuò)散泵進(jìn)行抽氣， 直到達(dá)到工作壓力。這種抽氣系統(tǒng)，當(dāng)使用時(shí)間長了以后，油封真空泵的極限壓力會(huì)降偏 將導(dǎo)致粗抽真空室壓力達(dá)不到O.lPa, 一般可以進(jìn)入1?5Pa。此時(shí)開啟擴(kuò)散泵抽真空室也 可以。如果用羅茨泵-油封真空泵作為粗抽機(jī)組，很容易達(dá)到擴(kuò)散泵的啟動(dòng)壓力O.lPa，宥 以大大縮短粗抽時(shí)間。

值得注意的是，在0. l~10Pa之間，無論油封真空泵，還是擴(kuò)散泵，返流均最大。為避免出現(xiàn)最大返流，可以選擇真空室抽到i5Pa左右，關(guān)閉粗真空閥，打開商真 空閥（主閥），啟動(dòng)擴(kuò)散泵抽氣。剛開啟閥門，可能會(huì)造成擴(kuò)散泵一級(jí)噴口瞬間過載，但役 快會(huì)恢復(fù)正常工作。

2、擴(kuò)散泵停機(jī)

擴(kuò)散泵停機(jī)順序如下。

① 關(guān)閉真空計(jì)，切斷真空燒結(jié)爐中爐加熱電源，關(guān)閉主閥。 

        ② 油封真空泵，繼續(xù)對(duì)擴(kuò)散泵泵體抽氣，目的有兩個(gè).其一防止油蒸氣返流；其提 使擴(kuò)散泵的高溫油處于真空氣氛不被氧化。抽氣時(shí)間因泵大小而異小泵需加山護(hù) 大泵 60~120min_o

    ① 當(dāng)油溫降到50?60°C時(shí)，可以停掉擴(kuò)散泵的冷卻水。

   ② 油封真空泵停止工作，電磁放氣閥給泵放氣，使泵腔內(nèi)處于大氣壓狀態(tài)。? 無論是工業(yè)生產(chǎn)擴(kuò)散泵真空抽氣系統(tǒng)，還是試驗(yàn)用抽氣系統(tǒng)，擴(kuò)散泵停機(jī)后，均需要保

持泵腔體內(nèi)為真空狀態(tài)，有利于擴(kuò)散泵的再啟動(dòng)，以及防止真空燒結(jié)爐中泵腔內(nèi)被污染。