富士通利用石墨烯試制氣體傳感器

富士通開發(fā)出了采用石墨烯的半導(dǎo)體氣體傳感器。將在半導(dǎo)體元件及工藝技術(shù)相關(guān)國際會(huì)議“IEDM 2016”（12月3?7日、舊金山）上就其詳細(xì)情況發(fā)表演講（演講序號：18.2）。該傳感器的特點(diǎn)是靈敏度較高，選擇性較大。

試制的氣體傳感器將普通的MOSFET柵極電極換了成了石墨烯。這樣一來，NH3和NO2吸附到石墨烯上時(shí)，MOSFET的漏極電流就會(huì)出現(xiàn)變化。檢測到NO2時(shí)，MOSFET的漏極電流會(huì)減少，檢測到NH3時(shí)，MOSFET的漏極電流會(huì)增加。