富士通利用石墨烯試制氣體傳感器
富士通開發(fā)出了采用石墨烯的半導體氣體傳感器。將在半導體元件及工藝技術相關國際會議“IEDM 2016”(12月3?7日、舊金山)上就其詳細情況發(fā)表演講(演講序號:18.2)。該傳感器的特點是靈敏度較高,選擇性較大。
試制的氣體傳感器將普通的MOSFET柵極電極換了成了石墨烯。這樣一來,NH3和NO2吸附到石墨烯上時,MOSFET的漏極電流就會出現(xiàn)變化。檢測到NO2時,MOSFET的漏極電流會減少,檢測到NH3時,MOSFET的漏極電流會增加。
通過檢測這種漏極電流的變化,在室溫下,可檢測到7ppb(1ppb為十億分之一)的NO2和420ppb的NH3。不過,該傳感器對SO2、H2S和乙醛基本無反應。傳感器的靈敏度可以調節(jié)。